Vorwort	5
	Herausgeber und Autoren	7
	Inhaltsverzeichnis	9
	1 Sensorsysteme	19
	1.1 Definition und Wirkungsweise	19
	1.2 Einteilung	20
	2 Physikalische Effekte zur Sensornutzung	21
	2.1 Piezoelektrischer Effekt	21
	2.1.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	21
	2.1.2 Materialien	23
	2.1.3 Anwendungen	24
	2.2 Resistiver und piezoresistiver Effekt	24
	2.2.1 Funktionsprinzipien und physikalische Beschreibung	24
	2.2.2 Resistiver Effekt und dessen Anwendung durch Dehnmess-Streifen (DMS)	26
	2.2.3 Piezoresistiver Effekt und dessen Anwendung durch Silicium-Halbleiter-Elemente	28
	2.3 Magnetoresistiver Effekt	30
	2.3.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	30
	2.3.2 Vorteile der XMR-Technologie	35
	2.3.3 Anwendungen der XMR-Technologie	36
	2.4 Magnetostriktiver Effekt	39
	2.4.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	39
	2.4.2 Vorteile der magnetostriktiven Sensor-Technologie	40
	2.4.3 Anwendungen der magnetostriktiven Sensor-Technologie	41
	2.5 Effekte der Induktion	43
	2.5.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	43
	2.5.2 Vorteile der induktiven Sensor-Technologie	48
	2.5.3 Anwendungen der induktiven Sensor-Technologie	48
	2.6 Effekte der Kapazität	50
	2.6.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	50
	2.6.1.1 Kondensator und Kapazität	50
	2.6.1.2 Kapazität im Wechselstromkreis	54
	2.6.2 Vorteile der kapazitiven Sensor-Technologie	59
	2.5.3 Anwendungen der kapazitiven Sensor-Technologie	60
	2.7 Gauß-Effekt	61
	2.7.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	61
	2.7.2 Anwendung des Gauß-Effektes	63
	2.8 Hall-Effekt	65
	2.8.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	65
	2.8.2 Anwendung des Hall-Effektes	67
	2.9 Wirbelstrom-Effekt	70
	2.9.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	70
	2.9.2 Anwendung des Wirbelstrom-Effektes	71
	2.10 Thermoelektrischer Effekt	74
	2.11 Thermowiderstands-Effekt	78
	2.11.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	78
	2.11.2 Vorteile der Sensorik mit dem Thermowiderstands-Effekt	80
	2.11.3 Einsatzgebiete	81
	2.12 Temperatureffekte bei Halbleitern	82
	2.12.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	82
	2.12.2 Kaltleiter (PTC-Widerstände)	83
	2.12.3 Heißleiter (NTC-Widerstände)	85
	2.13 Pyroelektrischer Effekt	87
	2.13.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	87
	2.13.2 Materialien	89
	2.13.3 Anwendungen	90
	2.14 Fotoelektrischer Effekt	93
	2.14.1 Funktionsprinzipien und physikalische Beschreibung	93
	2.14.2 Fotoelektrische Sensorelemente	97
	2.14.3 Fotoelektrische Sensorelemente	98
	2.15 Elektrooptischer Effekt	105
	2.15.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	105
	2.15.2 Materialien	106
	2.15.3 Anwendungen	108
	2.16 Elektrochemische Effekte	110
	2.16.1 Funktionsprinzip und Klassifizierung	110
	2.16.2 Potenziometrische Sensoren	110
	2.16.3 Amperometrische Sensoren	114
	2.16.4 Konduktometrische und impedimetrische Sensoren	115
	2.16.5 Anwendungsbereiche	115
	2.17 Chemische Effekte	117
	2.17.1 Physikalisch-chemische Wechselwirkungen von Gasen mit Oberflächen	117
	2.17.2 Gaslöslichkeit (Absorption)	118
	2.17.3 Gastransport zur Festkörperoberfläche	120
	2.17.4 Adsorption und Chemisorption	121
	2.17.5 Reaktionen mit adsorbierten Spezies	122
	2.17.6 Reaktion des Gases mit dem Festkörper	122
	2.17.7 Die Mischphasenfehlordnung	124
	2.18 Akustische Effekte	126
	2.18.1 Definition und Einteilung des Schalls	126
	2.18.2 Charakterisierung akustischer Wellen	126
	2.18.3 Schallgeschwindigkeit in idealen Gasen	127
	2.18.4 Intensität oder Schallstärke	128
	2.18.5 Absorption von Schall in Luft	128
	2.18.6 Reflektion und Transmission	129
	2.19 Optische Effekte	130
	2.19.1 Physikalische Effekte	130
	2.19.2 Aufbau optischer Sensoren	134
	2.19.3 Kategorien optischer Sensoren	136
	2.19.4 Anwendungsfelder optischer Sensoren	137
	2.20 Doppler-Effekt	138
	2.20.1 Funktionsprinzip und physikalische Beschreibung	138
	2.20.2 Anwendungsbereiche	140
	Weiterführende Literatur	143
	3 Geometrische Größen	145
	3.1 Wegund Abstandsensoren	145
	3.1.1 Induktive Abstandsund Wegsensoren	146
	3.1.1.1 Funktionsprinzip und morphologische Beschreibung der Induktivsensoren	146
	3.1.1.2 Berührungslose induktive Abstandssensoren (INS)	148
	3.1.1.3 Berührungslose induktive Wegsensoren (IWS)	155
	3.1.1.4 Differenzialtransformatoren mit verschiebbarem Kern (LVDT)	158
	3.1.1.5 Gepulster induktiver Linear-Positionssensor (Micropulse BIW)	163
	3.1.1.6 Signalverarbeitung durch Phasenmessung (Sagentia)	166
	3.1.1.7 PLCD-Wegsensoren (Permanent Linear Contactless Displacement Sensor)	170
	3.1.1.8 Berührungslose magnetoinduktive Wegsensoren (smartsens-BIL)	174
	3.1.2 Optoelektronische Abstandsund Wegsensoren	180
	3.1.2.1 Übersicht	180
	3.1.2.2 Optoelektronische Bauteile	181
	3.1.2.3 Optische Grundlagen von Abstandssensoren	185
	3.1.2.4 Messprinzip: Triangulation	188
	3.1.2.5 Messprinzip: Pulslaufzeitverfahren	189
	3.1.2.6 Messprinzip: Phasenoder Frequenzlaufzeitverfahren	189
	3.1.2.7 Messprinzip: Fotoelektrische Abtastung	192
	3.1.2.8 Messprinzip: Interferometrische Längenmessung	194
	3.1.3 Ultraschallsensoren zur Abstandsmessung und Objekterkennung	195
	3.1.3.1 Funktionsprinzipien und Aufbau	195
	3.1.3.2 Aufbau des Ultraschallwandlers	196
	3.1.3.3 Erfassungsbereich eines Ultraschallsensors	197
	3.1.3.4 Umlenkung des Ultraschalls	199
	3.1.3.5 Objektund Umwelteinflüsse	199
	3.1.3.6 Anwendungen	200
	3.1.4 Potenziometrische Wegund Winkelsensoren	202
	3.1.4.1 Einleitung	202
	3.1.4.2 Funktionsprinzip und Kenngrößen von potenziometrischen Sensoren	203
	3.1.4.3 Technologie und Aufbautechnik	206
	3.1.4.4 Produkte und Applikationen	211
	3.1.5 Magnetostriktive Wegsensoren	212
	3.1.5.1 Wirkprinzip und Aufbau magnetostriktiver Wegsensoren	213
	3.1.5.2 Gehäusekonzepte und Anwendungen	216
	3.1.6 Wegsensoren mit magnetisch codierter Maßverkörperung	222
	3.1.6.1 Messprinzip	222
	3.1.6.2 Aufbau und Funktionsweise inkrementeller und absoluter Mess-Systeme	224
	3.1.6.3 Kennwerte	227
	3.1.6.4 Sensortypen im Vergleich	230
	3.1.6.5 Anwendungsbeispiele	231
	3.2 Sensoren für Winkel und Drehbewegung	232
	3.2.1 Optische Drehgeber	241
	3.2.1.1 Physikalische Prinzipien	241
	3.2.1.2 Aufbau optischer Drehgeber	243
	3.2.1.3 Besondere Eigenschaften optischer Drehgeber	246
	3.2.2 Magnetisch codierter Drehgeber	247
	3.2.3 Umdrehungszählende Winkelsensoren	253
	3.2.3.1 Allgemeines Funktionsprinzip und morphologische Beschreibung von Umdrehungen zählenden Winkelsensoren	253
	3.2.3.2 Getriebebasierende Umdrehungszählverfahren	254
	3.2.3.3 Umdrehungszählverfahren auf induktiver Basis	255
	3.2.3.4 Batteriepufferung der Umdrehungsinformation	257
	3.2.3.5 Neuartiges GMR-System zur Detektion und Speicherung von Umdrehungsinformation	257
	3.2.4 Kapazitive Drehgeber	262
	3.2.5 Variable Transformatoren, Resolver	265
	3.2.5.1 Allgemeines Funktionsprinzip des VT	266
	3.2.5.2 Signifikante Varianten von VT	267
	3.2.5.3 Resolver, eine repräsentative Variante von VT	267
	3.2.6 1Vpp oder sin/cos-Schnittstelle	272
	3.2.7 Inkrementelle Geber	274
	3.3 Neigung	276
	3.3.1 Magnetoresistive Neigungssensoren	277
	3.3.2 Kompass-Sensoren	278
	3.3.3 Elektrolytische Sensoren	279
	3.3.4 Piezoresistive Neigungssensoren/DMS-Biegebalkensensoren	280
	3.3.5 MEMS	280
	3.3.6 Servoinclinometer	281
	3.3.7 Übersicht und Auswahl von Neigungssensoren	282
	3.4 Sensoren zur Objekterfassung	283
	3.4.1 Näherungsschalter	283
	3.4.2 Objekterkennung und Abstandsmessung mit Ultraschall	293
	3.4.3 Objekterkennung mit Radar	295
	3.4.4 Pyroelektrische Sensoren für die Bewegungs und Praesenzdetektion	296
	3.4.5 Objekterkennung mit Laserscanner	299
	3.4.6 Sensoren zur automatischen Identifikation (Auto-Ident)	300
	3.4.6.1 Übersicht	300
	3.4.6.2 Barcodescanner	300
	3.4.6.3 Auto-Ident-Kameras	307
	3.4.6.4 RFID-Systeme und Lesegeräte	311
	3.5 Dreidimensionale Messmethoden (3D-Messung)	316
	3.5.1 Tastende 3D-Messmethoden	317
	3.5.2 Optisch tastende 3D-Messmethoden	319
	3.5.3 Bildgebende 3D-Messmethoden	323
	3.5.4 Übersicht zu 3D-Messmethoden	327
	Weiterführende Literatur	328
	4 Mechanische Messgrößen	331
	4.1 Masse	331
	4.1.1 Definition	331
	4.1.2 Anwendungen	332
	4.2 Kraft	333
	4.2.1 Definition	333
	4.2.2 Effekte für die Anwendungen	334
	4.2.3 Anwendungsbereiche	338
	4.3 Dehnung	341
	4.3.1 Definition	341
	4.3.2 Messung der Dehnung	342
	4.4 Druck	344
	4.4.1 Definition	344
	4.4.2 Messprinzipien	346
	4.4.3 Messanordnungen	347
	4.5 Drehmoment	350
	4.5.1 Definition	350
	4.5.2 Messprinzipien	350
	4.5.3 Anwendungsbereiche	351
	4.6 Härte	352
	4.6.1 Definition	352
	4.6.2 Makroskopische Härtebestimmung	353
	4.6.3 Härtebestimmung durch Nanoindentation	353
	4.6.4 Sensoren für die Nano-Härtemessung	354
	4.6.5 Modell und Auswertung	355
	4.6.6 Anwendungen	356
	Weiterführende Literatur	357
	5 Zeitbasierte Messgrößen	358
	5.1 Zeit	358
	5.2 Frequenz	358
	5.3 Pulsbreite	364
	5.4 Phase, Laufzeit und Lichtlaufzeit	366
	5.5 Visuelle Darstellung von Messgrößen	371
	5.6 Drehzahl und Drehwinkel	380
	5.7 Geschwindigkeit	383
	5.8 Beschleunigung	386
	5.9 Durchfluss (Masse und Volumen)	391
	Weiterführende Literatur	395
	6 Temperaturmesstechnik	396
	6.1 Temperatur als physikalische Zustandsgröße	396
	6.2 Messprinzipien und Messbereiche	397
	6.3 Temperaturabhängigkeit des elektrischen Widerstandes	399
	6.3.1 Metalle	399
	6.3.2 Metalle mit definierten Zusätzen (Legierungen) oder Gitterfehlern	402
	6.3.3 Ionenleitwerkstoffe für hohe Temperaturen	403
	6.3.4 Thermistoren	403
	6.3.5 Engewiderstand-Temperatur-Sensoren (Spreading Resistor)	404
	6.3.6 Dioden	406
	6.4 Thermoelektrizität (Seebeck-Effekt)	407
	6.5 Wärmeausdehnung	411
	6.5.1 Wärmeausdehnung fester Körper	411
	6.5.2 Wärmeausdehnung von Flüssigkeiten	414
	6.5.3 Wärmeausdehnung von Gasen	415
	6.6 Temperatur und Frequenz	415
	6.7 Thermochromie	416
	6.8 Segerkegel	416
	6.9 Berührungslose optische Temperaturmessung	417
	6.9.1 Strahlungsthermometer (Pyrometer)	417
	6.9.2 Faseroptische Anwendungen	420
	6.9.2.1 Intrinsische Sensoren, DTS (Distributed Temperature Sensing)	420
	6.9.2.2 Extrinsische Sensoren	421
	Weiterführende Literatur	422
	7 Elektrische und magnetische Messgrößen	423
	7.1 Spannung	423
	7.1.1 Definition	423
	7.1.2 Messanordnungen	427
	7.2 Stromstärke	431
	7.2.1 Definition	431
	7.2.2 Messanordnungen	432
	7.3 Elektrische Ladung und Kapazität	434
	7.3.1 Definition	434
	7.3.2 Messanordnungen	437
	7.4 Elektrische Leitfähigkeit und spezifischer elektrischer Widerstand	440
	7.4.1 Definition	440
	7.4.2 Messanordnungen	441
	7.5 Elektrische Feldstärke	444
	7.5.1 Definition	444
	7.5.2 Messprinzipien für die elektrische Feldstärke	444
	7.6 Elektrische Energie und Leistung	446
	7.6.1 Definitionen	446
	7.6.2 Formen von Leistung	446
	7.6.3 Messprinzipien	448
	7.7 Induktivität	452
	7.7.1 Definition	452
	7.7.2 Messprinzipien	452
	7.8 Magnetische Feldstärke	453
	7.8.1 Definition	453
	7.8.2 Messprinzipien magnetischer Größen	454
	7.8.3 Messanordnungen	455
	7.8.4 Mehrdimensionale Messungen mit dem Hall-Effekt	456
	Weiterführende Literatur	458
	8 Radiound fotometrische Größen	459
	8.1 Radiometrie	459
	8.1.1 Radiometrische Größen	459
	8.1.2 Messung elektromagnetischer Strahlung	463
	8.2 Fotometrie	463
	8.2.1 Fotometrische Größen	464
	8.2.2 Messung fotometrischer Größen	468
	8.3 Anwendung von Helligkeitssensoren	469
	8.4 Farbe	470
	8.4.1 Farbempfinden	470
	8.4.2 Farbmodelle	473
	8.4.3 Farbsysteme	474
	8.4.4 Farbfilter für Sensoren	474
	8.4.5 Farbsensoren	477
	Weiterführende Literatur	478
	9 Akustische Messgrößen	479
	9.1 Definition wichtiger akustischer Größen	479
	9.2 Menschliche Wahrnehmung	480
	9.2.1 Pegel	480
	9.2.2 Lautstärke	482
	9.2.3 Lautheit	483
	9.3 Schallwandler	483
	9.4 Anwendungsfelder	486
	Weiterführende Literatur	488
	10 Klimatische und meteorologische Messgrößen	489
	10.1 Feuchtigkeit in Gasen	489
	10.1.1 Definitionen und Gleichungen	489
	10.1.2 Feuchtemessungen in Gasen	493
	10.1.2.1 Psychrometer, Aufbau und Funktionsweise	493
	10.1.2.2 Taupunktspiegel	496
	10.1.2.3 Kapazitive Feuchtemessung	498
	10.1.2.4 Integrierte kapazitive Feuchtesensoren mit Bus-Ausgang	499
	10.2 Feuchtebestimmung in festen und flüssigen Stoffen	500
	10.2.1 Direkte Verfahren zur Bestimmung der Materialfeuchte	501
	10.2.1.1 Prozentualer Wassergehalt einer Materialprobe	501
	10.2.1.2 Wasseraktivität einer Materialprobe	502
	10.2.1.3 Karl-Fischer-Titration	503
	10.2.1.4 Calciumcarbid-Methode	503
	10.2.1.5 Calciumhydrid-Methode	504
	10.2.2 Indirekte Messverfahren zur Bestimmung der Materialfeuchte	504
	10.2.2.1 Messung der elektrischen Eigenschaften	504
	10.2.2.2 Erfassen der optischen Eigenschaften von Wasser und Wasserdampf	505
	10.2.2.3 Messung des Saugdruckes in feuchten Materialien (Tensiometrie)	506
	10.2.2.4 Messung der atomaren Eigenschaften	507
	10.2.2.5 Nuklear-Magnetisches-Resonanz-Verfahren (NMR)	507
	10.2.2.6 Messung der Wärmeleitfähigkeit	508
	10.3 Messung von Niederschlägen im Außenklima	509
	10.4 Feuchtemessung in geschlossenen Räumen	511
	10.4.1 Messung des Klimas in Wohnungen und am Arbeitsplatz	511
	10.4.2 Klima in Museen und Ausstellungsräumen	512
	10.4.3 Klima in elektrischen Anlagen	514
	10.4.4 Beeinflussen des Raumklimas	514
	10.5 Luftdruck	516
	10.6 Windund Luftströmung	517
	10.6.1 Definition	517
	10.6.1 Methoden zur Windmessung	517
	10.7 Wasserströmung	521
	10.7.1 Definition	521
	10.7.2 Direkte und indirekte Durchflussmessung	521
	Weiterführende Literatur	526
	11 Ausgewählte chemische Messgrößen	527
	11.1 Redoxpotenzial	527
	11.1.1 Allgemeines	527
	11.1.2 Edelmetallische Redoxelektroden	529
	11.1.3 Redoxglaselektroden	531
	11.1.4 Bezugselektroden	533
	11.2 Ionen einschließlich Hydroniumionen	536
	11.2.1 Allgemeines	536
	11.2.2 pH-Messung	536
	11.2.3 Weitere Ionen	541
	11.3 Gase	545
	11.3.1 Allgemeines	545
	11.3.2 Gase im physikalisch gelösten Zustand bzw. bei Normaltemperatur	545
	11.3.2.1 Festelektrolytsensoren	547
	11.3.2.2 Elektrochemische Zellen mit festen Elektrolyten	548
	11.3.3 Halbleiter-Gassensoren – Metalloxidhalbleitersensoren (MOS)	557
	11.3.4 Pellistoren	558
	11.4 Elektrolytische Leitfähigkeit	559
	11.4.1 Allgemeines	559
	11.4.2 Kohlrausch-Messzellen	559
	11.4.3 Mehrelektroden-Messzellen	560
	11.4.4 Elektrodenlose Leitfähigkeitsmesszellen	561
	11.4.5 Beispiele zur Anwendung von Leitfähigkeitssensoren	562
	Weiterführende Literatur	564
	12 Biologische und medizinische Sensoren	565
	12.1 Biologische Sensorik	565
	12.1.1 Biosensorik	565
	12.1.2 Echte biologische Sensoren	567
	12.2 Funktionsprinzipien der Biosensoren	568
	12.2.1 Kalorimetrische Sensoren	570
	12.2.2 Mikrogravimetrische Sensoren	570
	12.2.3 Optische Sensoren	572
	12.2.4 Elektrochemische Sensoren	574
	12.2.5 Immobilisierungsmethoden	576
	12.3 Physikalische und chemische Sensoren in der Medizin	577
	12.3.1 Physikalisch-chemische Blutanalysen	578
	12.3.2 Klinisch-chemische Blutanalysen	581
	12.4 Enzymatische Methoden – Enzymsensoren	582
	12.4.1 Enzymbasierter Analytnachweis	584
	12.4.2 Bestimmung der Enzymaktivität	585
	12.4.3 Anwendungsfelder enzymatischer Tests	586
	12.5 Immunologische Methoden – Immunosensoren	587
	12.5.1 Direkte Immunosensoren	590
	12.5.2 Indirekte Immunosensoren	590
	12.5.3 Anwendungsfelder von Immunosensoren	592
	12.6 DNA-basierte Sensoren	593
	12.6.1 Hybridisierungsdiagnostik	594
	12.6.2 Anwendung und Einsatz von DNA-Sensoren	595
	12.7 Zellbasierte Sensorik	597
	12.7.1 Metabolischer Zellchip	597
	12.7.2 Neuro-Chip	598
	Weiterführende Literatur	599
	13 Messgrößen für ionisierende Strahlung	601
	13.1 Einführung und physikalische Größen	601
	13.2 Wechselwirkung von ionisierender Strahlung mit Materie	605
	13.3 Einteilung der Sensoren	609
	13.4 Gasgefüllte Strahlungssensoren	612
	13.5 Strahlungssensoren nach dem Anregungsprinzip	616
	13.6 Halbleitersensoren	618
	Weiterführende Literatur	626
	14 Fotoelektrische Sensoren	627
	14.1 Strahlung	627
	14.2 Szintillatoren	628
	14.3 Äußerer Fotoeffekt	629
	14.3.1 Fotomultiplier	629
	14.3.2 Channel-Fotomultiplier	630
	14.3.3 Bildaufnahmeröhren	631
	14.4 Innerer Fotoeffekt	631
	14.4.1 Fotoleiter	632
	14.4.2 Fotodioden	633
	14.4.3 Fototransistor, Fotothyristor und Foto-FET	635
	14.4.4 CMOS-Bildsensoren	636
	14.4.5 Hochdynamische CMOS-Bildsensoren	636
	14.5 CCD-Sensoren	638
	14.5.1 Zeilensensoren	638
	14.5.2 CCD-Matrixsensoren	640
	14.6 Quantum Well Infrared Photodetector QWIP	641
	14.7 Thermische optische Detektoren	642
	14.7.1 Thermosäulen	643
	14.7.2 Pyroelektrische Detektoren	645
	14.7.3 Bolometer	646
	15 Signalaufbereitung und Kalibrierung	647
	15.1 Signalaufbereitung	647
	15.1.1 Analoge (diskrete) Signalaufbereitung	647
	15.1.2 Signalaufbereitung mit Systemschaltkreisen	648
	15.1.3 Signalaufbereitung mit ASICs	649
	15.1.4 Signalaufbereitung mit Mikrocontrollern	649
	15.2 Sensorkalibrierung	650
	15.2.1 Passive Kompensation	651
	15.2.2 Justage mit analoger Signalverarbeitung	651
	15.2.3 Justage mit digitaler Signalverarbeitung	652
	15.3 Energiemanagement bei Sensoren	654
	Weiterführende Literatur	656
	16 Interface	657
	16.1 Analoge Interfaces	657
	16.1.1 Spannungsausgang	658
	16.1.2 Ratiometrischer Spannungsausgang	658
	16.1.3 Stromausgang	658
	16.1.4 Frequenzausgang und Pulsweitenmodulation	660
	16.1.5 4-/6-Draht-Interface	661
	16.2 Digitale Interfaces	662
	16.2.1 CAN-Gruppe	664
	16.2.2 LON	665
	16.2.3 HART	666
	16.2.4 RS485	666
	16.2.5 IO-Link	667
	16.2.6 Profibus	669
	16.2.7 I2C	669
	16.2.8 SPI	670
	16.2.9 IEEE 1451	671
	Weiterführende Literatur	674
	17 Sicherheitsaspekte bei Sensoren	675
	17.1 Eigenschaften zur Funktionsüberwachung	675
	17.2 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV)	678
	17.3 Funktionale Sicherheit (SIL)	681
	17.4 Sensoren in explosiver Umgebung (ATEX)	683
	17.4.1 Grundlagen des ATEX	683
	17.4.2 Zündschutzart Eigensicherheit	685
	17.4.3 Zündschutzart druckfeste Kapselung	687
	Weiterführende Literatur	687
	18 Messfehler, Messgenauigkeit und Messparameter	688
	18.1 Einteilung der Messfehler nach ihrer Ursache	688
	18.2 Darstellung von Messfehlern	689
	18.2.1 Arithmetischer Mittelwert, Fehlersumme und Standardabweichung	689
	18.2.2 Absoluter Fehler	690
	18.2.3 Relativer Fehler	691
	18.3 Messparameter	693
	18.3.1 Streuung von Messwerten	693
	18.3.2 Auflösung von Messwerten	694
	18.3.3 Signal-Rausch-Abstand und Dynamik von Messwerten	695
	Weiterführende Literatur	695
	Sachwortverzeichnis	696