Kurzfassung	6
	Inhalt	8
	Liste der verwendeten Symbole	12
	Extended Abstract	18
	1 Einleitung	22
	1.1 Laser in der Fertigungstechnik	22
	1.2 Abtragende Laserverfahren	23
	1.3 Motivation und Zielsetzung der Arbeit	26
	2 Grundlagen abtragender Laserverfahren	28
	2.1 Abtragen mit gepulster Laserstrahlung	28
	2.2 Laserinduzierte Plasmen	33
	2.3 Modellvorstellungen zum Laserbohren	45
	2.4 Materialabtrag bei kurzen und ultrakurzen Pulsen	52
	3 Experimentelle Methoden	61
	3.1 Lasersysteme	61
	3.2 Energietransmission	63
	3.3 Spektroskopie des Strahlprofils	68
	3.4 Bildgebende Verfahren zur Plasmacharakterisierung	70
	4 Luftdurchbruch und nichtlineare Wechselwirkung	82
	4.1 Gasdurchbruch im Fokus ultrakurzer Laserpulse	82
	4.2 Entstehung des Luftdurchbruchs	85
	4.3 Luftdurchbruch als hochionisiertes Plasma	90
	4.4 Fernfeld-Strahlprofile fokussierter ultrakurzer Pulse	92
	4.5 Wellenlängenkonversion im Luftdurchbruch	95
	4.6 Entstehungsregion der Conical Emission	99
	4.7 Einfluss der Atmosphäre auf dieWechselwirkung	100
	4.8 Ursache der Conical Emission	104
	5 Dynamik der Materialdampf- und Plasmawolken	106
	5.1 Stoßwellenexpansion und Energieinhalt	106
	5.2 Dampfausbreitung – Verbleib der Ablationsprodukte	109
	5.3 Charakterisierung von Prozessparametern	114
	6 Einflüsse repetierend gepulster Bearbeitung	119
	6.1 Transmissionsmessungen bei Pulszügen	119
	6.2 Ablationsdynamik für unterschiedliche Pulszahlen	125
	6.3 Einfluss der Repetitionsrate	128
	6.4 Spektroskopie am laserinduzierten Plasma	131
	6.5 Erweiterung des Bohrmodells	134
	7 Einflüsse der Umgebungsatmosphäre	136
	7.1 Abtragsraten bei reduziertem Atmosphärendruck	136
	7.2 Atmosphäreneinfluss auf die Bohrungsgeometrie	140
	7.3 Effizienzsteigerung beim Laserbohren	143
	8 Zusammenfassung und Ausblick	149
	Literatur– und Quellenverzeichnis	154
	Anhang	182
	A.1 Sedov–Taylor-Modell zur Stoßwellenausbreitung	182
	A.2 Ergänzende experimentelle Daten für repetierend gepulste Bearbeitung	185
	Danksagung	190